European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Последняя версия
EN 62047-4:2010
сфера применения
IEC 62047-4:2008 описывает общие спецификации для микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленных из полупроводников, которые являются основой для спецификаций, приведенных в других частях этой серии для различных типов приложений МЭМС, таких как датчики, радиочастотные МЭМС, за исключением оптических. МЭМС, био-МЭМС, микро-ТАС и энергетические МЭМС. Этот стандарт определяет общие процедуры оценки качества, которые будут использоваться в системах IECQ-CECC, и устанавливает общие принципы описания и тестирования электрических, оптических, механических и экологических характеристик. IEC 62047-4:2008 помогает в подготовке стандартов, определяющих устройства и системы, изготовленные с использованием технологии микрообработки, включая, помимо прочего, определение характеристик материалов и обращение с ними, сборку и испытания, методы управления процессом и измерения. МЭМС, описанные в этом стандарте, в основном изготовлены из полупроводникового материала. Однако положения настоящего стандарта также применимы к МЭМС, в которых используются материалы, отличные от полупроводников, например, полимеры, стекло, металлы и керамические материалы.
EN 62047-4:2010 История
2010EN 62047-4:2010 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 4. Общая спецификация для МЭМС.