T/GVS 005-2022
Спецификация испытаний контрастного метода емкостно-диафрагменного вакуумметра абсолютного давления в полупроводниковой аппаратуре (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/GVS 005-2022
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2022
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/GVS 005-2022
- сфера применения
- Определяет термины и определения, символы и сокращения, общие принципы, требования к условиям испытаний, проверку точности, проверку повторяемости, нулевую точку, проверку полномасштабного температурного коэффициента, обработку данных, время повторного испытания. Он подходит для сравнительных испытаний тонкопленочных вакуумметров абсолютного напряжения для полупроводникового оборудования с диапазоном измерения от 0,01 Па до 100 кПа.
T/GVS 005-2022 История
- 2022 T/GVS 005-2022 Спецификация испытаний контрастного метода емкостно-диафрагменного вакуумметра абсолютного давления в полупроводниковой аппаратуре
