SEMI M3.8-1991
Стандарт для сапфировых подложек диаметром 150 мм.

Стандартный №

SEMI M3.8-1991

Дата публикации

1991

Разместил

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Последняя версия

SEMI M3.8-1991

SEMI M3.8-1991 История

• 1991 SEMI M3.8-1991 Стандарт для сапфировых подложек диаметром 150 мм.