SEMI M3.6-1988
Стандарт для 3-дюймовых подложек из регенерированного сапфира

Стандартный №

SEMI M3.6-1988

Дата публикации

1988

Разместил

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Последняя версия

SEMI M3.6-1988

SEMI M3.6-1988 История

• 1988 SEMI M3.6-1988 Стандарт для 3-дюймовых подложек из регенерированного сапфира