SEMI M3.5-1992
Стандарт для сапфировых подложек толщиной 100 мм.

Стандартный №

SEMI M3.5-1992

Дата публикации

1992

Разместил

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Последняя версия

SEMI M3.5-1992

SEMI M3.5-1992 История

• 1992 SEMI M3.5-1992 Стандарт для сапфировых подложек толщиной 100 мм.