Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку и транспортировку, а также требования безопасности для гексахлордисилана, используемого в интегральных схемах. Среди них метод обнаружения охватывает принципы отбора проб и оценки, определения компонентов и определения содержания примесных элементов и т. д.