T/ZGM 014-2023
Технические условия сертификации мембранной продукции дегазации сверхчистой воды в полупроводниковой промышленности (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ZGM 014-2023

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2023

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ZGM 014-2023

сфера применения

Этот стандарт определяет технические требования и методы испытаний для сертификации компонентов дегазирующих мембран для подготовки сверхчистой воды в полупроводниковой промышленности. Настоящий стандарт распространяется на мембранные компоненты дегазации для подготовки сверхчистой воды в полупроводниковой промышленности. Стандартизирует размер, характеристики, материалы, требования к чистоте и методы испытаний мембранных продуктов дегазации.

T/ZGM 014-2023 История

• 2023 T/ZGM 014-2023 Технические условия сертификации мембранной продукции дегазации сверхчистой воды в полупроводниковой промышленности
• 2022 T/ZGM 014-2022 Технические характеристики сертификации энергосбережения для кассеты биореактора с половолоконной мембраной