DIN EN ISO 25178-604:2013-12
Геометрическая спецификация продукта (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования) (ISO 25178-604:2013); Немецкая версия EN ISO 25178-604:2013.