Определение работы выхода проводящих тонких пленок играет решающую роль в применении устройств отображения. С массовым применением гибких дисплеев на основе графена и других новых технологий материалов растет потребность в точном определении работы выхода гибких проводящих пленок графена в условиях индустриализации. На сегодняшний день основным методом проверки работы выхода является метод зондового силового микроскопа Кельвина (KPFM). Этот метод является точным и позволяет одновременно получать такую информацию, как морфология материала в пределах испытательного диапазона, поэтому он широко используется на рынке для проверки работы выхода стекла из оксида индия и олова (ITO) в негибких стеклах предыдущего поколения. устройства отображения. Недостатком метода КПФМ является относительно большое время испытаний и небольшой диапазон испытаний, обычно от десятков до сотен квадратных микрон. Из-за высокой дефектности пленки графена равномерность распределения работы выхода в пленке ниже, чем у стекла ITO. В это время постепенно стали проявляться преимущества фотоэлектронной спектроскопии (метода УПС) для проверки работы выхода. Прежде всего, максимальный диапазон испытаний метода UPS может достигать 2мм×2мм, что в определенной степени позволяет избежать слишком микроскопических характеристик КПФМ. Во-вторых, проверка ИБП удобна и быстра, а результаты проверки можно получить уже через несколько минут. Кроме того, метод UPS позволяет одновременно получить информацию об энергетической зоне образца. Таким образом, динамометрическую функцию метода UPS можно использовать в качестве полезного дополнения к методу KPFM. Метод KPFM подходит для исследований и разработок, а также для других случаев, требующих высокой микроскопической точности.Метод UPS позволяет быстро и точно получить общую работу выхода макроскопической тонкой пленки и подходит для контроля качества продуктов, поставляемых партиями. Этот документ регулирует метод функции динамометрического метода ИБП для стандартизации основных операций функции динамометрического метода ИБП, чтобы этот метод мог играть лучшую роль в процессе индустриализации, возглавляемом гибкими устройствами отображения.
T/ZSA 39-2020 История
2020T/ZSA 39-2020 Характеристика графена. Работа выхода. Метод ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии (UPS).