UNE-EN 62047-13:2012 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур (одобрено AENOR в июне 2012 г.)
2012UNE-EN 62047-13:2012 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур (одобрено AENOR в июне 2012 г.)