KS I ISO 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Технические требования к контролю чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц.
2020KS I ISO 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Технические требования к контролю чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц.