NF EN 62047-9:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение сопротивления соединения двух пластин для МЭМС.

Стандартный №

NF EN 62047-9:2012

Дата публикации

2012

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF EN 62047-9:2012

NF EN 62047-9:2012 История

• 2012 NF EN 62047-9:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение сопротивления соединения двух пластин для МЭМС.