T/CNIA 0116-2021 Определение содержания примесей в активированном угле очистки хвостовых газов производства поликремния методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)
В настоящем документе указан метод определения бора, фосфора, алюминия, хрома, железа, никеля, меди и цинка в активированном угле, используемом для очистки отходящих газов в производстве поликремния, методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Настоящий документ применим к определению содержания бора, фосфора, алюминия, хрома, железа, никеля, меди и цинка в активированном угле, используемом для очистки выхлопных газов при производстве поликремния.
T/CNIA 0116-2021 История
2021T/CNIA 0116-2021 Определение содержания примесей в активированном угле очистки хвостовых газов производства поликремния методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой