GB/T 42263-2022
Определение содержания азота в монокристалле кремния — метод вторично-ионной масс-спектрометрии. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 42263-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 42263-2022

сфера применения

В этом документе описан вторично-ионный масс-спектрометрический метод определения содержания азота в монокристаллах кремния. Этот документ применим к определению содержания азота в монокристалле кремния с концентрацией легирования бором, сурьмой, мышьяком и фосфором менее 1×1020. см-3 (0,2%).

GB/T 42263-2022 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 22461  Химический анализ поверхности. Словарь.
• GB/T 32267 Терминология тестирования производительности аналитического прибора

GB/T 42263-2022 История

• 2022 GB/T 42263-2022 Определение содержания азота в монокристалле кремния — метод вторично-ионной масс-спектрометрии.