GB/T 33236-2016
Поликристаллический кремний. Определение микроэлементов. Метод масс-спектрометрии тлеющего разряда. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 33236-2016

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2016

Разместил

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

Последняя версия

GB/T 33236-2016

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод определения примесных элементов в поликремнии методом масс-спектрометрии тлеющего разряда (GD-MS).Настоящий стандарт распространяется на определение других примесных элементов в поликремниевых материалах, за исключением водорода и элементов инертного газа.Диапазон измерения - от предела обнаружения. данного метода до 0,1% (массовая доля).Предел обнаружения определяется в зависимости от используемого прибора и условий измерения.При правильной калибровке эталонной пробы можно также измерять содержание примесных элементов с массовой долей более 0,1%. Следовые примесные элементы в монокристаллических кремниевых материалах также можно измерять с учетом этого стандарта.

GB/T 33236-2016 Ссылочный документ

• GB/T 6682  Вода для аналитических лабораторий. Спецификация и методы испытаний.
• ISO/TS 15338:2009  Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия тлеющего разряда (GD-MS). Введение в использование.

GB/T 33236-2016 История

• 2016 GB/T 33236-2016 Поликристаллический кремний. Определение микроэлементов. Метод масс-спектрометрии тлеющего разряда.