UNE-EN 62047-11:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем (одобрено AENOR в ноябре 2013 г.).

Стандартный №

UNE-EN 62047-11:2013

Дата публикации

2013

Разместил

ES-UNE

Последняя версия

UNE-EN 62047-11:2013

UNE-EN 62047-11:2013 История

• 2013 UNE-EN 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем (одобрено AENOR в ноябре 2013 г.).