В этом документе указаны технические требования, методы испытаний и требования к маркировке, упаковке, транспортировке и хранению смеси аргона, 10 ppm ксенона и неона для интегральных схем. Этот документ применим к смешанному газу аргон/ксенон/неон с концентрацией 3,5%/10 ppm для интегральных схем. В качестве справки можно использовать смешанный газ аргон-ксенон-неон с другими соотношениями состава.