В этом документе указаны требования к оценке, методы подготовки отчета об оценке жизненного цикла, методы оценки и процессы для оценки экологически чистого продукта для полированных пластин монокристаллического карбида кремния 4H и 6H. Настоящий документ применим к оценке продуктов экологически чистого дизайна из монокристаллических полированных пластин карбида кремния 4H и 6H, изготовленных методом физического переноса паров.
T/CNIA 0101-2021 История
2021T/CNIA 0101-2021 Техническая спецификация для оценки продукции «зеленого» дизайна, монокристаллическая полированная пластина карбида кремния