T/ZZB 0648-2018
Монокристаллический полированный кремний Чохральского диаметром 200 мм, легированный фосфором (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/ZZB 0648-2018
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2018
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/ZZB 0648-2018
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет термины и определения, классификацию продукции, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила контроля, упаковку, маркировку, транспортировку и хранение, список заказов (или контракт) на монокристаллический полированный кремний Чохральского толщиной 200 мм, легированный фосфором. вафли) Обязательства по содержанию и качеству. Настоящий стандарт распространяется на полированные пластины монокристалла кремния диаметром 200 мм, изготовленные методом Чохральского с использованием поликремния электронного качества в качестве основного сырья. Продукция в основном используется в качестве подложек для эпитаксиальных пластин интегральных схем и дискретных устройств.
T/ZZB 0648-2018 История
- 2018 T/ZZB 0648-2018 Монокристаллический полированный кремний Чохральского диаметром 200 мм, легированный фосфором
