KS C IEC TS 62607-6-3-2023 Нанопроизводство. Ключевые характеристики контроля. Часть 6-3. Материал на основе графена. Размер домена: окисление подложки.
2023KS C IEC TS 62607-6-3-2023 Нанопроизводство. Ключевые характеристики контроля. Часть 6-3. Материал на основе графена. Размер домена: окисление подложки.