EN 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Последняя версия
EN 62047-11:2013
сфера применения
IEC 62047-11:2013 определяет метод испытаний для измерения коэффициентов линейного теплового расширения (CLTE) тонких отдельно стоящих твердых (металлических, керамических, полимерных и т. д.) материалов микроэлектромеханических систем (MEMS) длиной от 0 ,1 мм и 1 мм, шириной от 10 микрометров до 1 мм и толщиной от 0,1 микрометра до 1 мм, которые являются основными конструкционными материалами, используемыми для МЭМС, микромашин и других. Этот метод испытаний применим для измерения КЛТР в диапазоне температур от комнатной температуры до 30 % температуры плавления материала.
EN 62047-11:2013 История
2013EN 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.