ISO 22415:2019 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод определения объема выхода при профилировании глубины аргонового кластерного распыления органических материалов.

сфера применения: В этом документе описан метод измерения и составления отчета об объемах аргонового кластерного распыления конкретного органического материала. Для этого метода требуется один или несколько тестовых образцов указанного материала в виде тонкой однородной пленки известной толщины от 50 до 1000 нанометров на плоской подложке, которая имеет химический состав, отличный от указанного материала. Настоящий документ применим к испытуемым образцам, в которых указанный слой материала имеет однородный состав по глубине, и не применим, если распределение соединений по глубине в указанном материале неоднородно. Этот документ применим к приборам, в которых распыляющий ионный луч облучает образец с использованием растра, чтобы обеспечить постоянную дозу ионов по всей зоне анализа.

ISO 22415:2019 Ссылочный документ

ISO 18115-1:2013 Химический анализ поверхности.Словарь.Часть 1: Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.

2019 ISO 22415:2019 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод определения объема выхода при профилировании глубины аргонового кластерного распыления органических материалов.