Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China
Последняя версия
DB53/T 499-2013
сфера применения
Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила контроля, упаковку, маркировку, транспортирование и хранение трихлорсилана для поликремния. Настоящий стандарт распространяется на трихлорсилан для поликремния, произведенный усовершенствованным методом Сименса.