EN 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Последняя версия
EN 62047-22:2014
сфера применения
IEC 62047-22:2014 определяет метод испытаний на растяжение для измерения электромеханических свойств материалов проводящих тонких микроэлектромеханических систем (МЭМС), прикрепленных к непроводящим гибким подложкам. Проводящие тонкопленочные структуры на гибких подложках широко используются в МЭМС, потребительских товарах и гибкой электронике. Электрическое поведение пленок на гибких подложках отличается от поведения отдельно стоящих пленок и подложек из-за их межфазных взаимодействий. Различные комбинации гибких подложек и тонких пленок часто приводят к различному влиянию на результаты испытаний в зависимости от условий испытаний и межфазной адгезии. Требуемая толщина тонкого МЭМС-материала в 50 раз тоньше, чем у гибкой подложки, тогда как все остальные размеры аналогичны друг другу.
EN 62047-22:2014 История
2014EN 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.