В этом документе оговариваются требования к оценке продукта с зеленым дизайном хлорсилана электронного качества, метод подготовки отчета об оценке жизненного цикла продукта, а также метод и процесс оценки. Настоящий документ распространяется на продукцию зеленого дизайна из хлорсиланов электронного качества (включая трихлорсилан электронного качества, тетрахлорид кремния, дихлордигидросилан и гексахлордисилан), производимых путем переработки и очистки промышленных хлорсиланов в качестве сырья.
T/CNIA 0103-2021 История
2021T/CNIA 0103-2021 Техническая спецификация оценки продукции зеленого дизайна для хлорсилана электронного качества