Настоящий документ устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, этикетирование, упаковку, транспортирование, хранение и требования безопасности к газовой смеси 4,5% хлористый водород/0,9% водород/неон для интегральных схем. Настоящий документ распространяется на газовую смесь 4,5% хлористого водорода/0,9% водорода/неона для интегральных схем (далее именуемую 4,5% хлористого водорода/0,9% водорода/неона).Соотношения других компонентов смесей хлористого водорода/водорода/неона могут быть следующими: реализовано по ссылке.