EN ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц (ISO 14644-9:2022)
Этот документ устанавливает процедуру оценки уровня чистоты частиц на твердых поверхностях в чистых помещениях и связанных с ними приложениях с контролируемой средой. Рекомендации по методам испытаний и измерений, а также информация о характеристиках поверхностей приведены в приложениях A–D. Этот документ распространяется на все твердые поверхности в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочие помещения, инструменты, оборудование и продукция. Процедура оценки чистоты поверхности по концентрации частиц (SCP) ограничивается частицами размером от 0,05 до 500 мкм. В настоящем документе не рассматриваются следующие вопросы:
——требования к чистоте и пригодности поверхностей для конкретных процессов;
——процедуры очистки поверхностей;
——характеристики материала;
——ссылки на интерактивные силы связи или процессы генерации, которые обычно зависят от времени и процесса;
——выбор и использование статистических методов оценки и тестирования;
——другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионные заряды и микробиологическое состояние.
EN ISO 14644-9:2022 История
2022EN ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц (ISO 14644-9:2022)
2012EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012)