GB/T 38446-2020
Технология микроэлектромеханических систем. Методы испытаний для измерения свойств тонких полосок на растяжение. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 38446-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 38446-2020

сфера применения

Этот стандарт определяет метод испытаний и обработку данных для определения свойств полосовых пленок на растяжение. Этот стандарт применим к образцам толщиной от 50 нм до нескольких микрон и соотношением длины к толщине более 300, а также может использоваться для контроля качества полосовых тонкопленочных структур продуктов MEMS.

GB/T 38446-2020 Ссылочный документ

• GB/T 26111 Техническая терминология микроэлектромеханических систем (МЭМС)*， 2023-05-23 Обновление

GB/T 38446-2020 История

• 2020 GB/T 38446-2020 Технология микроэлектромеханических систем. Методы испытаний для измерения свойств тонких полосок на растяжение.