T/CNIA 0141-2022
Определение содержания примесей металлов в водороде для производства поликремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CNIA 0141-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CNIA 0141-2022

сфера применения

В этом документе определен метод определения содержания натрия, магния, алюминия, кальция, хрома, марганца, железа, никеля, меди, цинка, мышьяка и титана в газообразном водороде, используемом для производства поликристаллического кремния, с использованием масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ICP- МС). .

T/CNIA 0141-2022 История

• 2022 T/CNIA 0141-2022 Определение содержания примесей металлов в водороде для производства поликремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой