Что такое испытания резонаторов BS IEC 62047-32 — MEMS? МЭМС-резонаторы представляют собой небольшие электромеханические конструкции, вибрирующие на высоких частотах. Они используются для привязки времени, фильтрации сигналов, массового зондирования, биологического зондирования, зондирования движения и других разнообразных приложений. BS IEC 62047-32 является частью серии стандартов IEC 62047 по полупроводниковым устройствам. БС МЭК 62047-32
BS IEC 62047-32:2019 История
2019BS IEC 62047-32:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания нелинейной вибрации МЭМС-резонаторов.