Настоящий стандарт определяет термины и определения, классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение, а также обеспечение качества печей для слитков поликристаллического кремния. Настоящий стандарт распространяется на слитковые печи для получения поликремния методом прямой плавки.
T/ZZB 0061-2016 История
2016T/ZZB 0061-2016 Печь для производства слитков поликристаллического кремния