В этом документе указаны контрольные отметки и размеры 8-дюймовых подложек из карбида кремния. Этот документ распространяется на отрезные, шлифовальные и полировальные диски из карбида кремния. Примечание. Подложки из карбида кремния в основном используются для изготовления эпитаксиальных подложек силовой электроники.
T/CASAS 025-2023 История
2023T/CASAS 025-2023 Маркировка и размеры 8-дюймовой пластины из карбида кремния