T/IAWBS 002-2017
Метод испытания поверхностных дефектов эпитаксиальной пластины карбида кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/IAWBS 002-2017
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2017
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/IAWBS 002-2017
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод неразрушающего оптического измерения поверхностных дефектов эпитаксиальных пластин карбида кремния для силовых устройств. Настоящий стандарт распространяется на однородные эпитаксиальные слои карбида кремния толщиной более (включительно) 2 микрон.
T/IAWBS 002-2017 История
- 2017 T/IAWBS 002-2017 Метод испытания поверхностных дефектов эпитаксиальной пластины карбида кремния
