Этот стандарт определяет метод испытания прочности сцепления целевого материала и опорной пластины. Настоящий стандарт применим к методу испытания прочности соединения материалов покрытия и подложек, используемых в области микроэлектроники. Примечание. Методы соединения мишени и задней пластины включают кальциевую сварку (традиционный припой, проводящий серебряный клей, наномикросварка и т. д.), диффузионную сварку, электронно-лучевую или лазерную сварку, сварку взрывом, сварку трением, механическое соединение, холодное напыление. и термоспрей подождите.
GB/T 39163-2020 История
2020GB/T 39163-2020 Методы испытаний прочности соединения сборных опорных пластин