Область применения В этом документе описывается спектроскопическая эллипсометрия для определения оптических свойств (показателя преломления n и коэффициента экстинкции k) и оптической классификации различных типов аморфных углеродных пленок в плоскости n-k. Он применим к аморфным углеродным пленкам, нанесенным методами ионизированного испарения, распыления, дугового осаждения, плазменного химического осаждения из паровой фазы, методов горячей нити и других. Он не распространяется на углеродные пленки, модифицированные металлами или кремнием, аморфные углеродные пленки, имеющие градиент состава/свойства по толщине, краски и лаки.
BS EN ISO 23216:2022 История
2023BS EN ISO 23216:2022 Карбоновые пленки. Определение оптических свойств пленок аморфного углерода методом спектроскопической эллипсометрии