T/GVS 002-2021
Типовая спецификация установки высокоточного магнетронного напыления (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- T/GVS 002-2021
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- Group Standards of the People's Republic of China
- Последняя версия
- T/GVS 002-2021
- сфера применения
- Уточняет термины и определения, состав, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение оборудования для нанесения покрытий высокоточного магнетронного напыления. Он подходит для высокоточного оборудования для магнетронного напыления (далее «оборудование») с предельным давлением в диапазоне 10-5Па ~ 10-3Па.
T/GVS 002-2021 История
- 2021 T/GVS 002-2021 Типовая спецификация установки высокоточного магнетронного напыления
