DIN EN ISO 14644-15:2018-03
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 15. Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов по концентрации химических веществ в воздухе (ISO 14644-15:2017); Немецкая версия EN ISO 14644-15:2017