Настоящий стандарт определяет метод вторично-ионной масс-спектрометрии для определения содержания магния в материалах из нитрида галлия. Настоящий стандарт распространяется на количественный анализ содержания магния в нитрид-галлиевых материалах.Диапазон измерений не менее 5×1014см-3. Примечание. Содержание магния в материалах из нитрида галлия измеряется в атомах на кубический сантиметр.
GB/T 39144-2020 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 22461 Химический анализ поверхности. Словарь.