В этом документе оговариваются требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка и сопроводительная документация, упаковка, транспортировка и хранение гексаметилдисилазана. Настоящий документ распространяется на гексаметилдисилазиламин, полученный реакцией бис(триметилсилил)сульфата с газообразным аммиаком.