IEC 62607-6-20:2022 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. - Часть 6-20: Материал на основе графена. Содержание металлических примесей: масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.
2022IEC 62607-6-20:2022 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. - Часть 6-20: Материал на основе графена. Содержание металлических примесей: масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.