DB53/T 618-2014
Определение содержания компонентов хвостовых газов гидрирования в производстве поликремния методом газовой хроматографии (Англоязычная версия)

Стандартный №

DB53/T 618-2014

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2014

Разместил

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Последняя версия

DB53/T 618-2014

сфера применения

Настоящий стандарт определяет краткое описание метода, реагенты и материалы, инструменты и устройства, этапы анализа, расчет результатов, точность и отчет об испытаниях для определения компонентов хвостового газа гидрирования в производстве поликремния с помощью газовой хроматографии. Настоящий стандарт применим для определения водорода (H2), хлористого водорода (HCl), дихлорсилана (SiH2Cl2), трихлорсилана (SiHCl3) и тетрахлорида кремния (SiCl4) в отходящих газах гидрирования.

DB53/T 618-2014 История

• 2014 DB53/T 618-2014 Определение содержания компонентов хвостовых газов гидрирования в производстве поликремния методом газовой хроматографии