Настоящий стандарт определяет технические требования, правила проверки, методы испытаний, маркировку, упаковку, хранение и транспортировку, а также информацию о безопасности бис(диэтиламино)силана. Настоящий стандарт распространяется на готовый бис(диэтиламино)силан электронного качества, полученный из бис(диэтиламино)силана промышленного качества путем ректификации и фильтрационной очистки. Этот продукт в основном используется в качестве прекурсора для изготовления пленок SiO2 и пленок с высокой диэлектрической проницаемостью на основе кремния при низких температурах.
T/DLSHXH 008-2022 История
2022T/DLSHXH 008-2022 Электронный специальный газ бис(диэтиламино)силан