UNE-EN ISO 14644-14:2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе (ISO 14644-14:2016).
2017UNE-EN ISO 14644-14:2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе (ISO 14644-14:2016).