KS I ISO 14644-14-2018 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.
2018KS I ISO 14644-14-2018 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.