ISO 25178-607:2019 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 607. Номинальные характеристики инструментов для бесконтактной (конфокальной микроскопии)
International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 25178-607:2019
сфера применения
В этом документе описаны влияющие величины и характеристики приборов систем конфокальной микроскопии для площадных измерений топографии поверхности. Поскольку профили поверхности можно извлечь из изображений топографии поверхности, методы, описанные в этом документе, также можно применять к измерениям профилирования.
ISO 25178-607:2019 История
2019ISO 25178-607:2019 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 607. Номинальные характеристики инструментов для бесконтактной (конфокальной микроскопии)