В этом документе закреплены условия и определения технических условий подготовки графеновых структур фильтров поверхностных акустических волн, а также регламентированы очистка пьезоэлектрических подложек, подготовка слоев металлических электродов, подготовка деформационных компонентов, подготовка слоев графена и т. д.
T/NSSQ 008-2022 История
2022T/NSSQ 008-2022 Спецификация на подготовку структуры фильтра поверхностных акустических волн графена