GB/T 40110-2021 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).

сфера применения: В этом документе описывается метод TXRF для измерения атомной поверхностной плотности загрязнения поверхностными элементами на химически механически полированных или эпитаксиально выращенных кремниевых пластинах. Настоящий документ распространяется на следующие ситуации: 　——- Элементы с атомными номерами от 16 (S) до 92 (U); 　——— Загрязняющие элементы с атомной поверхностной плотностью от 1×1010А/см2 до 1×1014А/см2; Загрязняющие элементы с атомной поверхностной плотностью от 5×108a/см2 до 5×1012атомст/см2, полученные методом подготовки проб VPD (разложение в паровой фазе) (см. 3.oms4).

GB/T 40110-2021 Ссылочный документ

ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

2021 GB/T 40110-2021 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).