BS ISO 14644-12:2018
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Технические условия для мониторинга чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц

Стандартный №

BS ISO 14644-12:2018

Дата публикации

2018

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 14644-12:2018

сфера применения

Область применения Настоящий документ охватывает мониторинг чистоты воздуха по частицам с точки зрения концентрации переносимых по воздуху наноразмерных частиц. В целях мониторинга учитываются только популяции частиц с нижним пределом размера 0,1 микрона (100 нм) или меньше – «наноразмерные». Мониторинг, приведенный в этом документе, предназначен главным образом для использования в «рабочих» состояниях. ПРИМЕЧАНИЕ 1. Для целей настоящего документа упоминаются «наноразмерные частицы», что означает все нанообъекты, имеющие одно (нанопластина), два (нановолокно) или три (наночастицы) измерения в наномасштабе. ПРИМЕЧАНИЕ 2. Как следствие, спецификации для мониторинга чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц в чистом помещении в рабочем состоянии также учитывают специфику процесса, например, используемое оборудование, поведение персонала и т. д. ПРИМЕЧАНИЕ 3 Соображения здоровья и безопасности исключены из настоящего документа.

BS ISO 14644-12:2018 История

• 2018 BS ISO 14644-12:2018 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Технические условия для мониторинга чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц