ISO 22278:2020
Тонкая керамика (современная керамика, усовершенствованная техническая керамика) — Метод испытания кристаллического качества монокристаллической тонкой пленки (пластины) с использованием метода XRD с параллельным рентгеновским лучом.
- Стандартный №
- ISO 22278:2020
- Дата публикации
- 2020
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 22278:2020
- сфера применения
- В этом документе определен метод испытаний для измерения кристаллического качества монокристаллической тонкой пленки (пластины) с использованием метода XRD с параллельным рентгеновским лучом. Этот документ применим ко всем монокристаллическим тонким пленкам (подложкам) как объемной, так и эпитаксиальной слоистой структуры.
ISO 22278:2020 История
- 2020 ISO 22278:2020 Тонкая керамика (современная керамика, усовершенствованная техническая керамика) — Метод испытания кристаллического качества монокристаллической тонкой пленки (пластины) с использованием метода XRD с параллельным рентгеновским лучом.
