В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и безопасность хлористого водорода, используемого в интегральных схемах. Настоящий документ распространяется на хлористый водород, используемый при производстве интегральных схем.